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真空鍍膜首先是應(yīng)用于光學(xué)領(lǐng)域,二戰(zhàn)中德國(guó)人首先采用真空蒸發(fā)鍍膜法鍍制了大量的光學(xué)鏡片應(yīng)用于軍事望遠(yuǎn)鏡和瞄準(zhǔn)鏡,并一直發(fā)展到高透過(guò)率、高反射率、分光過(guò)濾等現(xiàn)代光學(xué)玻璃鍍膜應(yīng)用;在另一真空鍍的應(yīng)用領(lǐng)域:新興的電子行業(yè),真空鍍膜法被大量應(yīng)用于電阻、電容和半導(dǎo)體的制造,后來(lái)這一技術(shù)又逐漸發(fā)展成為集成電路和微電子器件的細(xì)微加工領(lǐng)域,并一直應(yīng)用到現(xiàn)在;同樣新興的材料改性也需要提供大量具有特殊性能的工程材料,而在材料改性和薄膜技術(shù)方面真空電鍍又是走在了技術(shù)的,特別是在高腐蝕、高耐溫、高度度、高潤(rùn)滑等領(lǐng)域,真空鍍膜法有其強(qiáng)大的技術(shù)優(yōu)勢(shì)并將一直發(fā)展下去。
伴隨著真空電鍍?cè)O(shè)備和技術(shù)的不斷改進(jìn),加工成本的不斷降低硅鋁旋轉(zhuǎn)靶材,特別是自70年代后期磁控濺射鍍膜工藝和設(shè)備的發(fā)展,越來(lái)越多的真空鍍膜加工被應(yīng)用到裝飾+防腐領(lǐng)域,特別是在一些高等消費(fèi)品的表面裝飾已經(jīng)可以看到真空電鍍的應(yīng)用了。
靶材供應(yīng)品種:銀(Ag)靶、Cr靶、Ti靶、鎳鉻(NiCr)靶、鋅錫(ZnSn)靶、硅鋁(SiAl)靶、氧化鈦(TixOy)靶等。靶材在玻璃上的另一個(gè)重要應(yīng)用是制備汽車后視鏡,主要是鉻靶、鋁靶、氧化鈦靶等。隨著汽車后視鏡檔次要求的不斷提高,很多企業(yè)紛紛從原來(lái)的鍍鋁工藝轉(zhuǎn)成真空濺射鍍鉻工藝。
旋轉(zhuǎn)銀靶,作為旋轉(zhuǎn)靶中的杰出代表,在各種鍍膜中起著較其重要的作用,尤其在玻璃鍍膜中應(yīng)用廣泛。旋轉(zhuǎn)銀靶鍍出來(lái)的產(chǎn)品,其結(jié)構(gòu)分布更均勻,致密度更高,更適合生產(chǎn)高等產(chǎn)品。其換靶的周期更長(zhǎng),更能提高鍍膜企業(yè)的生產(chǎn)效率,降低其生產(chǎn)成本,在國(guó)外已得到廣泛的應(yīng)用。
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