QSG3透 明 石 英 玻 璃 坩 堝 JC 226—81

本 標 準 適 用 于 半 導 體 工 業(yè) 拉 制 單 晶 用 的 高 純 透 明 石 英 玻 璃 坩 堝 。本 坩 堝 采 用 天 然 石 英 熔 制 成 坯 體 ， 并 在 其 內 表 面 涂 一 層 高 純 人 造 石 英 玻 璃 層 。

一 、 技 術 要 求

1、 物 理 、 化 學 性 能 指 標

1）化 學 成 分

a、 內 涂 層 化 學 成 分鋁 、 鈣 、 鎂 、 鈦 、 銅 、 鐵 、 鈷 、 鎳 、 錳 、 硼 、 鉀 、 鈉 、 鋰 、 十 三 個 雜 質 元 素 的 總 含 量 不 得 大 于 .001%