作為大部分國家提供薄膜太陽能模塊Turn-Key服務的廠商Oerlikon的薄膜太陽能電池解決方案提供了中試線的選擇，其玻璃基板與量產基板尺寸相同。中試線與量產線不同之處在于反應腔室的數量，兩者分別為1：20，在中試線上研發(fā)成功的工藝可以直接移植到量產生產線上，這使電池生產廠商在投入大規(guī)模量產之前可以對工藝進行自主改善，進而提高產能與轉化效率。
　　Oerlikon于2007年9月推出的非晶微晶的工藝解決方案，較早由Oerlikon現任CTO Johannes Meier于1994年在IMT提出，這種結構能夠拓展吸收的光譜范圍，從而大大的增加對光的吸收能力。采用非晶微晶的薄膜太陽能電池穩(wěn)定后的轉換效率可以達到9%左右，在量產之后，通過加工技術的提升，還可以進一步提高轉換效率。
　　據孫海燕博士介紹,非晶工藝和非晶微晶工藝的主要區(qū)別在于PECVD工藝，后者在鍍膜的過程中需要40MH的非常高頻，以獲得高沉積速率、高均勻性以及低損傷。所以Oerlikon早在20年前開發(fā)薄膜太陽技術及設備時，將其開發(fā)要點集中在PECVD設備非常高頻電源與反應器裝置的開發(fā)。非常高頻電源應用主要的目的在于使薄膜淀積又快又好，即在薄膜的淀積過程中，使產生的等離子既不能破壞膜的結構，同時薄膜的淀積速度要快。而用于薄膜淀積的Oerlikon的反應器是一個高溫等溫裝置，反應器內溫度的控制非常重要，因為非晶硅是長程無序短程有序硅的一種非穩(wěn)態(tài)，在等溫下形成致密的薄膜的過程相當于在接近于穩(wěn)定狀態(tài)下形成的亞穩(wěn)態(tài)，所制備的電池結構相對穩(wěn)定，初始衰減相對少。
　　雖然薄膜電池將主要未來光伏市場的呼聲不斷，但要在未來的5-10年取代晶體硅太陽能電池成為光伏市場的主流可能需要相當的工作和努力。常州天合光能重要地位運營官鄒西原認為，由于用于晶體硅電池制造的硅原料取得相對容易，晶體硅電池量產技術成熟和較高的轉換效率，而在可預見的未來幾年，晶體硅太陽能電池仍然會是市場的主流。應用材料（中國）有限公司太陽能事業(yè)部總經理王瑞萍認為，晶體硅和薄膜這兩種技術在很長一段時間內會齊頭并進，相輔相成，也許會永遠并存。