產品型號

HD-JCL-Z1400A

產品介紹

AZO膜生產線共設計有七個真空腔體部分，靠前部分為進口室，第二部分為進口緩沖室，第三部分為進口傳送室，第四部分為工藝室，第五部分為出口傳送室，第六部分為出口緩沖室，第七部分為出口室；兩對采用PCU04閉路環(huán)控制的中頻孿生Si靶，形成高質量的隔離SiO2層；十對圓柱AZO靶，實現(xiàn)高質量的AZO透明導線膜；設備設計加工尺寸為寬1100mm，長1400mm的平面基板材料，生產加工周期可優(yōu)化到100－180秒；生產線采用分子泵抽氣形成氣氛隔離的先進設計，生產線采用渦輪浮分子泵以獲得的隔離、穩(wěn)定的抽速和均勻的氣體分布。

生產線技術特點

（1）設備類型：臥式連續(xù)磁控濺射鍍膜線（2）鍍膜基片架尺寸：按照1×1100mm（W）×?1400mm(L)×3mm基片設計；（4）膜層均勻性設計要求：在有效沉積區(qū)域內，膜層厚度均勻性≤±5％；（6）陰極結構設計要求：采用中頻孿生旋轉陰極，初步確定靶規(guī)格為135mm×1400mm；（7）設備傳動方式：采用雙摩擦傳動的臥式小車裝載進片方式（不采用滾輪設計）；（8）鍍膜工藝實現(xiàn)方式：采用ZnO：Al陶瓷靶，采用反應濺射沉積工藝；（9）鍍膜溫度控制：采用不銹鋼鎧裝加熱裝置（可以按客戶要求采用燈管加熱），較高溫度為350℃，按照常溫～400℃可以任意設定設計，控制穩(wěn)定度為±5℃；（10）控制系統(tǒng)要求：控制系統(tǒng)能實現(xiàn)人、機對話，及時對生產過程進行必要干預。運行過程有報警提示和故障顯示，故障顯示能提示操作人員正確的操作和排故。

技術參數(shù)

1）極限真空壓力：6×?1?0E-4?Pa2）平均生產周期：80－180?秒／架3）基片架尺寸：1100?mm×?1400mm（可以根據(jù)要求定做）4）膜層均勻性：±5%

成功案例

中國建筑材料集團

湖南湘潭宏大真空設備有限公司成立于2000年，集研發(fā)、設計、生產、銷售于一體，有經(jīng)驗從事真空鍍膜設備及其零部件制造。歷經(jīng)十余載的經(jīng)營發(fā)展，公司已成功躋身重要高新技術企業(yè)之林，在真空設備行業(yè)的同類產品中，宏大真空的市場占有率已達到90%以上，成為國內行業(yè)帶領企業(yè)，并帶領中國真空鍍膜設備制造業(yè)的發(fā)展。公司主營產品：建筑裝飾玻璃連續(xù)鍍膜生產線，平板顯示導電膜玻璃連續(xù)鍍膜生產線，非晶硅薄膜太陽能電較連續(xù)鍍膜生產線，裝飾連續(xù)鍍膜生產線，各種單體和雙室真空鍍膜機等六大系列20余種產品。其核心產品已通過國家真空設備質量監(jiān)督檢驗中心檢驗，擁有單獨的自主知識產權，不斷刷新著中國真空鍍膜設備的發(fā)展里程。作為中國乃至亞太地區(qū)非常大的真空鍍膜設備生產基地，宏大真空公司已成為中國南玻集團、中國建筑材料集團、信利半導體有限公司、華光集團等國內知名公司長期戰(zhàn)略合作伙伴，為其提供多條連續(xù)鍍膜生產線。不僅如此，公司產品遠銷美國、德國、新加坡、馬來西亞等國家和地區(qū)，并逐步加強與德國萊寶、德國馮﹒阿登納、美國應用材料、日本光馳等較有優(yōu)勢企業(yè)的技術交流和溝通，在大部分國家真空鍍膜設備制造領域已具備趕超世界高等的水平.研發(fā)創(chuàng)新多條真空鍍膜生產線的成功經(jīng)驗的真空成套設備設計制造技術團隊成熟的鍍膜工藝方案有經(jīng)驗的安裝和售后服務隊伍宏大真空，精益求精制造世界高等真空鍍膜設備。

主營產品：建筑裝飾玻璃連續(xù)鍍膜生產線,平板顯示導電膜玻璃連續(xù)鍍膜生產線,非晶硅薄膜太陽能電較連續(xù)鍍膜生產線,裝飾連續(xù)鍍膜生產線,雙室真空鍍膜機,單體,雙室真空鍍膜機,多弧離子鍍膜機 公司成立年份：2003
公司網(wǎng)址：http://hdzksb.glass.com.cn

供應大面積AZO透明導電膜磁控濺射鍍膜生產線

光學透明材料具有質量輕、耐沖擊強度高、易于加工成型等優(yōu)良特點，最常見的光學透明材料-有機玻璃(PMAA)是應用于航空透明件最為廣泛的材料之一，可加工制作成大尺寸、多曲率、視野寬闊的前風擋及座艙航空透明件，還包括各型復雜曲率的機身觀察窗、燈罩及各式儀表蓋等等；隨著科學技術的進步，航空器隱身技術的發(fā)展，以及未來電子電磁對抗，實現(xiàn)電磁屏蔽功能的需要，有機玻璃透明件作為機身的重要組成構件之一，也必須實現(xiàn)隱身功能，以適應未來的戰(zhàn)爭環(huán)境。因此，在有機光學材料特別是航空有機玻璃表面鍍制各類導電膜層，是實現(xiàn)航空透明件隱身的重要手段之一。長期以來，由于航空有機玻璃的耐溫點低，無法達到鍍制功能膜所需高溫，常規(guī)的真空磁控濺射工藝難以實現(xiàn)，加工制造難度非常大，所以有機玻璃表面導電功能膜系的制造必須采用特種工藝進行鍍制。為解決這一關鍵技術障礙，經(jīng)過公司技術人員努力，采用了低溫直流輝光等離子真空磁控濺射技術，在高等級潔凈凈化室內，成功的在低溫基片上制備出高質量的各類導電膜系。各類導電膜系具有透光性好，膜層致密，膜層阻值均勻，耐磨性能好等優(yōu)點。